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巴川コーポが続伸、ニコンの半導体露光装置に「iCas MCT」が採用

材料
2026年5月18日 15時24分

巴川コーポレーション<3878>が続伸している。午後3時ごろに、自社開発した通気性ヒーター部品「iCas MCT」が、ニコン<7731>の半導体露光装置に採用されたと発表しており、好材料視されている。

「iCas MCT」は、ステンレス繊維で構成された紙状・多孔質の「ステンレス繊維シート」を発熱体として用いたヒーター部品。ヒーター部品自体に通気性を持たせることが可能となるので、加熱面に対して垂直方向に空気を通過させながら効果的に加熱。これにより、ヒーター部品の熱容量を抑えつつ、高い温度応答性及び昇温性能を実現したほか、部品の小型化・軽量化にも寄与し、半導体露光装置の高性能化に貢献する。なお、「iCas MCT」が半導体露光装置に採用されるのは、今回が初めてとしている。

出所:MINKABU PRESS

株探ニュース

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